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六十三章与 谈判前的准备（二）(2/4)

成锁紧球气浮后，样片和掩模之间会产生一定的间隙，因此必须进行微调焦。

另一方面，调平完成进行对准，必须分离一定的对准间隙，也需要进行微调焦。

抽拉掩模台主要用于快速上下片，由燕尾导轨、定位挡块和锁紧手轮组成。

承片台和掩模夹是根据不同的样片和掩模尺寸而进行设计的。

而工件台上的一切操作都需要在对准系统的辅助下，进行手工调节。

而制造高精度的对准系统需要具有近乎完美的精密机械工艺，对准系统另外一个技术难题就是对准显微镜。

为了增强显微镜的视场，许多高端的光刻机，采用了led照明。

对准系统共有两套，具备调焦功能。

主要就是由双目双视场对准显微镜主体、目镜和物镜各1对（光刻机通常会提供不同放大倍率的目镜和物镜供用户组合使用）。

而杨小乐对sony公司的d感光元件这么感兴趣、甚至不惜大丢脸面的垂涎三尺，就是为了将d应用在对准系统上，前世应用广泛的d对准系统作用是将掩模和样片的对准标记放大并成像于监视器上。

不错，杨小乐就是想借此进入光刻机的市场。

而要想进入这个真正的高科技行业，除了从日本的尼康和佳能入手以外，杨小乐暂时别无他法，因为这个行业是个系统工程，高端光刻机集精密光学、机械、控制、材料等先进科技和工程技术于一体，是集成电路装备中技术难度最高、价格最昂贵的关键设备，被称为人类技术发展的制高点和制造工业“皇冠上的明珠”。

光刻机的水平决定着集成电路的发展水平，它在ic制造设备的价值链中占30%—40%。

而光刻机的主要难点聚焦在准分子光源、光学系统和超精密运动高速工作台。

犹如世界上没有两片相同的叶子，同样，也没有两台一模一样的光刻机。

每台光刻机，都有自己独一无二的“光刻指纹”。

杨小乐的最终目的就是要生产完全属于自己的光刻机。

一台光刻机有上万个零部件要在电脑程序的控制下进行复杂协调的联动，其运动精准程度的误差不得超过一根头发丝的千分之一，这无异于在头发上“绣花”！打个通俗的比喻，就如同坐在一架超音速飞行的飞机上，拿着线头穿进另一架飞行飞机上的针孔

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