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龙芯集团大楼研发室内,上百号人全部围在一台崭新的机器面前。
经过两个半月,举国上下多个部门,数百名工程师进行组装和调试,重达120吨的国产最新型“羲和号”光刻机正式完工。
看着面前的大家伙,所有人都充满了自豪之情。
回想起这两个月不可思议的壮举,众人都有种不真实的感觉。
但看着眼前的羲和号,抚摸着它巨大的机身,这不是梦。
龙国终于有了自己的EUV光刻机。
他们真的完成了足以载入史册,改变世界格局的划时代工程。
所有人都有种热泪盈眶的感觉。
与此同时,他们再看向人群最前面站着的年轻身影,心中更加充满敬佩之情。
“开始!” 随着许阳沉稳有力的声音响起。
嗡! 随着CO2激光脉冲被放大到最高的功率,它开始输出超过30kW平均脉冲功率的激光数,其脉冲峰值功率一度达到了几兆瓦。
随即,锡滴发生器像加速了上千倍的机关枪一般,开始每秒喷射超过6万次微米级锡液滴激光轰击锡珠产生等离子体,绽放出闪电一般的EUV光,在真空中画出一道美妙的弧线,将代表人类科技“最顶的点”,雕刻在了光刻胶上。
“成了!” 不知道是谁激动的喊了一声。
“报告许总师,等离子转化率为70%。
” “报告许总师,反射时损失15%光,最后有10%能到达硅片!” “报告许总师,从这一刻开始,ASML的EUV将成为老古董,我们的羲和号,全方位超越了他。
” 轰! 现场顿时发出了雷鸣般的掌声和欢呼声。
似是要把整个大楼都震穿一般。
终于,有人忍不住嚎啕大哭。
即便是镇定如曲老,也不断地
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