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次他都当成挑战不会后退，这一次也是这样。

在宋问声的指挥当中，实验开始。

实验室的最前面全部贴满了宋问声对这种特殊材料的要求，以及合成原理和过程，他所预想的性能。

原来光刻胶小组不再需要他频繁地指导，他偶尔会回去看看，了解一下实验进度，其他的时间，他基本上是泡在材料研究实验室这边。

皇天不负苦心人，在过程当中除了他稍稍修改了一下这个材料的外壳，使之更加贴合他想要的性质之外，在他的科研直觉指导之下都是顺风顺水的。

二十五天之后，他将这款材料的样品还有测试性质性能报告全部提交到应富华那边。

应富华找了另外几个小组内的专家对这些材料进行审核验收，经过他们再次的测试，证实这种新兴的复合材料可以应用在光刻机的光源上，甚至可以更好的使光源的强弱发生想要的变化。

三十天，微机电系统分流人配合宋问声研发自由照明光源的核心部分。

宋问声不太了解这方面在，只能说是配合他们，但是也收获良多。

此时他对光刻机攻克任务的贡献值已经来到了8%。

看起来微乎其微。

但是却耗费了宋问声不少心血。

不过他还没有死心，应了另外一位殷教授的邀约，去看看他们开发的工件台系统。

工件台主要负责承载和运输硅片。

听上去似乎很简单，但是里面的技术含量很高。

在以前芯片行业还有不少对手的时候，ASML开发了双工件台系统，博得了众多卖家的青睐，一跃成为光刻机领域的龙头企业。

而现在的事实是我们国家对于研发这样的工件台系统还有一定的难度。

工件台系统包括载片台、电机等，其中比较重要的是调平调焦机构和双频干涉仪等。

技术难点在于掩模模板的设计还有检测系统，这些都被美国公司所垄断。

ASML的工件台工作顺序是位于曝光光位的工件台进行硅片曝光的同时，另一

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