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这一次光学研究所的目标还是非常大了，想直接将步进扫描投影曝光机，准备将集成电路图形的线宽缩小到0.35μm的节点。波长能达到193nm,光学光刻分辨率争取能达到70nm的极限，目标很宏大,自然需要的时间也不少。 限制芯片大小的主要关机就是在于光刻系统能获得的分辨率有关,而提升分辨率最有效的方法就是减小照射光源的波长,因此这个项目的关键就是开发和寻找新型的短波长的光源,研究不同的光源本来就是光学研究所的重要任务,所以这一次他们项目的重点也就是找到只有193nm甚至是要比这个数字更短的光源。 而这项任务除了本身的研究实力,大量的实验之外,自然还需要不少运气了,陆见倒是记得光刻机的几种光源,大概是激光、紫外光、深紫外光，还有极紫外光,而极紫外光是后世最先进的光源技术,只可惜陆见也就知道些名字，前世的时候并不是很了解，他近段时间倒是补充了不少光学知识,但是后面这些光源不是还没有被研发出来,就是应用方面还有很多问题,所以现在的光刻机使用的还是激光。 陆见坐在霍所长的边上,耳中听着那些人的话，一边的霍所长也听得有些无聊，现在还没有提到他们的部分，他不像陆见一般，这次过来的原因主要就是因为这